Эксимерные лазеры

Эксимерный лазер является самым мощным источником ультрафиолетового излучения. Своё название он получил от комбинации двух слов: excited - возбуждённый и dimer – двухатомная молекула.

Активное тело таких лазеров состоит из 3х или 4х-компонентной газовой смеси, содержащее инертные газы (Не, Ne, Xe, Kr, Ar) и галогены (F2, HCl).

При подаче высокого напряжения в смесь газов атом инертного газа (Xe, Kr, или Ar) и атом галогена (F2 или HCl) формируют молекулу двухатомного газа. Эта молекула находится в возбужденном, крайне нестабильном состоянии и распадается через тысячные доли секунды. Распад созданной в разряде возбужденной двухатомной молекулы приводит к излучению световой волны в ультрафиолетовом диапазоне.

Наиболее распространенные типы эксимерных лазеров работают на длинах волн 193 нм (ArF), 248 нм (KrF), 308 нм (XeCl), 351 нм (XeF).

Области применения

• прецизионная обработка материалов (металлы, керамика, алмазы);
• фотолитография (производство интегральных схем);
• производство жидкрокристаллических дисплеев;
• производство элементов оптоволоконной связи;
• офтальмология (рефракционная хирургия, глаукома);
• дерматология;
• эксимерные лазеры широко применяются в научных исследованиях, промышленности и медицине.