Чистота и состав примесей лазерных газов имеют большое значение для нормальной работы лазеров. Для того чтобы обеспечить оптимальную и продолжительную работу лазера, лазерные газы должны строго соответствовать требованиям по качеству и составу, установленным заводами - изготовителями лазеров. Нежелательные примеси (такие как углеводороды) могут повредить лазерную оптику, что приведет к поломке лазера или замене оптики.

Рекомендуемая чистота для лазерных газов должна быть не менее 99,995%.