Эксимерный лазер

История появления лазера

Термин «эксимер» произошёл от английского excited dimer, что переводится как «возбуждённый димер». Данное определение обозначает тип материала, который используется в качестве рабочего тела.

Эксимерный лазер был впервые представлен в стенах московского Физического института имени Лебедева учёными Поповым, Даниличевым и Басовым. Для рабочего тела они применяли биксенон (Xe2), возбуждаемый электронами. Длина волны составляла 172 нм.

В дальнейшем исследователи стали использовать смеси галогенов с благородными газами. Именно в этом виде лазер и был запатентован американскими специалистами Стюартом Сирлесом и Джорджем Хартом, которые трудились в лаборатории ВМС США. Основное применение в то время — гравировка компьютерных чипов.

В 1981 г. учёный по фамилии Шривансон установил, что технология позволяет выполнять высокоточные разрезы тканей, не повреждая окружающие клетки высокой температурой. В результате в этом же году эксимерный лазер стали внедрять в офтальмологическую практику для лечения роговицы. А уже в 1985 году произошла первая коррекция зрения.

Сегодня технология широко используется не только для проведения высокоточных медицинских операций, но и для производства современной микроэлектронной техники.

Эксимерные лазеры активно применяются:

• при производстве ЖК-дисплеев и интегральных схем;
• в глазной микрохирургии;
• при создании оптоволоконных систем;
• при прецизионной обработке металлов;
• в различных научных исследованиях.

Для корректной работы эксимерных лазеров необходимо использовать специальную газовую смесь, которая обеспечивает необходимую мощность устройству. Газовая 3- или 4-компонентная смесь состоит из галогенов и инертных газов. Она обеспечивает малую длину волны (от 193 нм), а также высокую мощность луча эксимерного лазера.

Основными условиями достижения нужных рабочих характеристик являются:

• четкое соблюдение пропорций смеси;
• высокая чистота газового оборудования и самих газов;
• герметичность соединений.

Специалисты компании «НИИ КМ» проводят консультации по вопросам подбора компонентов смеси для полного её соответствия производственному процессу. Для этого достаточно позвонить нам по телефону в Москве: +7 (499) 196-70-10.